产品名称
gaas单晶
掺杂剂
si
zn
载流子浓度 cm-3
(2~50)×1017
(2.58~4.76)×1019
电阻率 10-3/ω.cm
2.41-3.65
迁移率 cm2/v.s
1000~3500
66
epd cm-2
<10000
<10000
直径 mm
50.8±0.5, 62±0.5
50.8±0.5
主、次参考面长度 mm
16±1、7±1
厚度 µm
(320)±10
晶向
(100)±0.5°
晶片表面状态
抛光片
ttv µm
<10
warp µm
<10
北京宜捷材料科技有限公司
18101229485
中国 北京